振鏡類型

3D動(dòng)態(tài)聚焦振鏡

設(shè)計(jì)方案

光損小，體積小、定位精度高、打標(biāo)速度快

操作軟件

采用MM3D軟體系統(tǒng)，支持多種文件格式和矢量圖、
位圖以及文本條碼匯入，簡單易懂、操作親和力強(qiáng)

三維圖形對焦

3D深度打標(biāo)加工時(shí)自動(dòng)調(diào)整Z軸范圍
保持光斑最小化，保持物體打標(biāo)后圖形一致

激光器

1064nm光纖激光器

最大縱深標(biāo)刻落差

100mm

振鏡速度

＞2000mm/s

幅面大?。烧{(diào)）

100mm

入射光斑要求

6mm~7.5mm

X&Y軸鏡片光斑

10mm

速度

標(biāo)記速度

5000mm/s

定位速度

9000mm/s

寫入速度

500cps

階躍響應(yīng)時(shí)間（全行程1%）

288us

階躍響應(yīng)時(shí)間（全行程10%）

895us

跟蹤誤差

≤164us

精度及誤差

線性度

99.90%

重復(fù)定位精度

＜8μRad

增益誤差

＜5mRad

零點(diǎn)偏移（批量原點(diǎn)誤差）

＜5mRad

長時(shí)間漂移（連續(xù)工作8小時(shí)）

＜0.5mRad

比例漂移

＜40PPM/℃

零點(diǎn)漂移

＜15μRad/℃

振鏡信號(hào)

接口協(xié)議

XY2-100

機(jī)械掃描角度

±12.5°

振鏡工作溫度、尺寸

工作溫度

0℃~40℃

存儲(chǔ)溫度

-20℃~60℃

振鏡尺寸（長×寬×高）

262X110X116mm

振鏡重量

≈4.31Kg